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反射高能电子衍射仪PCB抄板及芯片解密实例

集萃丝印特印网  发布时间:2010-10-15 00:00:00  阅读:323  评论:

    【集萃网观察】对用于分子束外延(MBE)中的反射高能电子衍射仪(RHEED)的工作原理以及RHEED衍射强度振荡在测量外延生长速率的应用进行了详尽的阐述;针对样品盘与RHEED系统的兼容问题,对样品盘进行了新的设计,并进行了实验研究。

  该款反射高能电子衍射仪是在破解原样机的基础上PCB抄板二次开发而研制的,较原机毫不逊色,同时可根据客户的个性化需求做相应的设计及功能参数修改。

  技术参数

  1. 电子枪部分

  RHEED电子枪是专门为进行衍射研究所设计的电子光学系统,其能量范围从10到30keV。通过结合静电和磁部件,保证了电子枪具有高亮度、小斑点、低分散和极低放气率的特征。电子枪可以完全安装在腔体外面,可以原位保养,可以烘烤。如果配备了差分抽气系统,还可以在高压环境下使用。

  2. 控制电源部分

  设计紧凑的提供30KeV能量的电子枪电源控制部分,由最先进的电子元件制造。电子枪的设置参数,如能量、灯丝电流、束流强度等都可以数字形式在显示器上显示,而且可以通过一个简洁的控制面板远程控制调节束流强度、聚焦位置等。系统具有自我诊断能力,可以快速全面地对RHEED系统进行检查。

  3.电子束光阑

  通过电子束光阑可以控制束流的开关,这样可以保证样品上极低的电子负荷。光阑开关信号也可同时被外部信号触发,这样就使得RHEED可以在有干扰磁场下使用,并可以用来研究旋转样品。

  4. 电子束摇摆

  为了做RHEED分析,电子束必须以掠角方式入射样品。 独特的电子束摇摆特征,允许精确调节和变化电子束入射角度,而不用移动样品。这个特征在对固定位置的样品进行分析测试时是非常有用的。

  5.差分抽气系统

  通常的电子枪是为在如10-4 torr 这样较高压力条件下工作设计的,但是这样必然导致灯丝寿命的缩短。带有差分抽气系统选项的RHEED系统, 保证了可以在高压和有反应气体存在的环境下进行日常的操作。对灯丝部分的高效抽气,使得RHEED系统同其他系统相比有无与伦比的灵活性。

  6. 计算机控制

  RHEED系统可以完全由计算机来控制。电子枪控制部分包括一个界面模块和一个软件包,这保证了RHEED的使用灵活性,和可重复性。 用户自己设定的参数可以被保存并调入,通过电子束光阑可以控制电子束的开关,使用电子束摇摆特征可以调节电子束入射角度。

  7. 荧光屏

  提供各种尺寸的荧光屏,它们有非常高的空间分辨率和极好的对比度。荧光屏上的镀铝保护涂层确保荧光屏有非常好的电接触特性,并可以屏蔽掉从真空腔来的一些游离光线,从而提高RHEED图像的对比度。

  8.数据采集和分析系统

  RHEED Vision 是一套可以同现存的各种RHEED系统配套使用的功能非常强大的数据采集软件, 它可以同时进行图像处理和实时数据分析。并且有很多可选的数据缩减程序。另外还提供其它的硬件控制模块,如锁相外延生长,快门控制,激光脉冲触发器等。

来源:www.greattong.com

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