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Black Hole制程并不复杂,其操作控制方面亦甚简易。此技术最主要是在Black Bole槽液。其药液是一种以微小碳粉为基础的水溶性“悬浮液”(Suspension),其固态碳粉含量约为1.35%-1.45%。其余是水及一些微量的添加剂。槽液中并不含金属成份,更未加入甲醛等有害物质,对操作人员的健康要比传统化学铜好得很多。此槽液的pH值约近10.5,操作中的粘度非常接近水的数值。
Black Bole悬浮物颗粒大小约在150-200nm之间,和其他悬浮物一样,其颗粒也会有凝聚(Aggregate)羽化(Flocculate)的趋势,故不易发生沉淀。因而可使得槽液在延长储存期间,仍能保持应有的效能及活性。一般而言生产中之操作槽液可以连续使用一年左右,而不需更换新液。另外此槽液储存环境之温度范围甚广,可从440F(6.60C)到1400F(600C)都很安全,不至有分解或变质之虞。再者为了使这些悬浮物颗粒能够均匀的在孔壁上沉积涂布起见,必须要将槽液持续循环搅动(约7-10槽次/小时)。另一项重点就是黑孔后的"烘干"亦须彻底做到硬化,以免孔壁黑膜又被微蚀液等冲掉。
废水处理方面则更是优点多多,总体成本也不高于传统化学铜,而且完成黑孔后尚可直接进入影像转移与二次铜锡铅,对流程的缩短大有帮助。国内中小型业者目前已量产者达30余线。黑孔制程对一般20mil以上的大孔品质尚可,快速生产速度也可到达2米/分。但对六层以上的小孔板,尤其是纵横比5/1以上的深孔,其量产中较易出现孔破现象,需特别小心甚至加倍多走一次,以减少恼人的后患。
来源:宏力捷